主要產品規格
| 物品 | 規格 |
| 電源 | AC100V，15A 3芯插頭帶地線 |
| 設備機身尺寸 | 寬 350 毫米 x 深 440 毫米 x 高 350 毫米 （設備重量 20 公斤） |
| 旋轉泵 | 排氣速度50?/min (GLD-051) (重量14.6kg) |
| 樣品室尺寸 | 內徑 149 毫米 x 高 82 毫米（硬玻璃） |
| 電極樣品臺間距 | 50mm |
| 樣品臺 | Φ100mm |
| 可安裝的樣品尺寸 | > Φ100mm（可安裝尺寸Φ130mm） 高度35mm |
| 飛濺靶金屬規格 | Φ100 mm（有效直徑98 mm），厚度0.1 mm Au、Pt、Pt-Pd、Pd、Ag |
| 大氣氣體 | Air（空氣）或 Ar（氬氣） |
