Profilm3D 3D 表面形狀測量系統使用示例

發布日期：2021-10-11      瀏覽次數：1644

Profilm3D 3D 表面形狀測量系統使用示例



它是一個使用白光干涉技術的系統，可以無接觸地測量包括臺階和粗糙度在內的三維形狀。

Profilm 3D 適用于測量小樣品，涵蓋了測量 3D 形狀所需的所有功能，并且比傳統產品更緊湊、更便宜。
各種測量模式，包括適合高精度測量微米級臺階和形狀的垂直掃描干涉測量法 (WLI) 和適合測量納米級形狀和粗糙度的相移干涉測量法 (PSI)。包括標準步驟樣品在內的一切都是標準設備，包括用于放大物鏡的左輪、自動載物臺以及便于操作、分析和管理測量數據的軟件。

主要特點

• 低價！
  在配備所有必要功能的同時實現低價

• 納米級高分辨率
  采用相移干涉法實現高分辨率

• 全標準設備
  XY自動載物臺，手動左輪，自動光強調節，自動對焦功能

• 緊湊的外殼
  主體的占地面積為 30 x 30 cm 的緊湊設計。

• 配備 WLI 和 PSI 兩種測量模式 一臺設備即可
  測量臺階測量和粗糙度測量

• 操作
  簡單 基本操作只是簡單的鼠標操作

• 符合 ISO 標準的粗糙度測量符合
  標準 ISO25178

• 可擴展性
  多種物鏡選擇，數據拼接功能

主要應用

半導體	晶圓凸塊、CMP焊盤等
醫療領域	注射針、人工關節、支架等
安裝板	銅線、凸點、透鏡等

規格

測量規格

 

	垂直掃描白光干涉測量法 (WLI)	相移干涉測量 (PSI)
測量范圍	50 納米 – 10 毫米	0 – 3 微米
準確性	0.7%	——
再現性	0.1%	——
反射范圍	0.05% – 99%	0.05% – 99%

 

設備規格

XY自動載物臺	100mm x 100mm
Z軸驅動范圍	100mm
壓電驅動范圍	500微米
掃描速度	12微米/秒
相機	2592 x 1944（500 萬像素）
體重	15公斤

 

物鏡規格

	5次	10倍	20次	50次	百倍
視野	4.0 x 3.4 毫米	2.0 x 1.7 毫米	1.0 x 0.85mm	0.4 x 0.34mm	0.2 x 0.17mm
鏡頭分辨率	2.1微米	0.92微米	0.69 微米	0.5微米	0.4微米


湊、更便宜。