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sena 目視檢查高強度照明器介紹
SENA Superbeam 是一種用于晶圓、透鏡和玻璃基板表面檢測的照明設備，匯集了 30 多年的專業知識。 通過采用的透鏡和專用燈，使照射區域的照度保持均勻，可以獲得強而穩定的光線。
在半導體前端制造過程中，化學和機械力結合作用使表面平滑的CMP（化學機械平面化）工藝有時會導致諸如裂紋和劃痕缺陷之類的表面損壞。為了有效地解決這一風險，需要對表面純度和平面度進行非破壞性，非接觸式，波長敏感的視覺檢查。研華提供的機器視覺整體解決方案涵蓋工業級圖像傳感器，高級計算，多核處理器和VisionNavi應用軟件，這是一種基于用戶友好的基于流程圖的界面，可以簡化開發和部署，分支和循環功能，先進的視覺應用程序，并通過全局快門支持多種任務和攝像機，以提供精確而高效的半導體生產。
用途
晶圓表面質量檢查
液晶濾光片和彩色濾光片檢查
玻璃鏡片表面劃痕和異物檢查
硅玻璃表面劃痕和異物檢查
光掩膜表面劃痕和異物檢查
膠片表面劃痕和異物檢查
陶瓷表面檢查
金屬表面（鋁、不銹鋼、銅等）
觸摸屏表面檢查
汽車油漆質量
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